特種氣體分類:標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻, 穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,可分為單元標準氣體和多元標準氣體,目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領(lǐng)域的需求,特種氣體分類:從應用領(lǐng)域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種,廣泛應用 于電子半導體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領(lǐng)域。20 世紀 80 年代,電子產(chǎn) 業(yè)的興起推動特種氣體的需求提高,隨著氣體供應商供氣模式的引入,國內(nèi) 企業(yè)原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨立的氣體公司,國內(nèi)特種氣體市 場逐步發(fā)展起來。
滅菌特種氣體主要應用于(繃帶、縫線及手術(shù)器具)、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產(chǎn)品及貯藏方面的殺菌。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類,電子特種氣體(簡稱電子特氣)是特種氣體的 一個重要分支,是超大規(guī)模集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、LED、OLED)、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。特種氣體的重要性:正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大,應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。
我國特種氣體行業(yè)在 2006 年后進入快速發(fā)展階段,廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應用:特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游,被稱為半導體的“源”,主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。